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主要特點(diǎn)：
顯微鏡LED曝光單元UTA系列是不需要掩模的用于光刻的圖案投影曝光裝置。
使用金相顯微鏡盒LED光源DLP投影儀，將具有機(jī)微米分辨率的任意圖案投影到涂有抗蝕劑的基板上進(jìn)行曝光。
圖案可以在PC上自由創(chuàng)建。
因?yàn)榭梢栽谄胀ǖ氖覂?nèi)環(huán)境中在各種大小盒形狀的單晶薄片上形成電極，所以它比電子束光刻便宜且簡(jiǎn)單，不需要制造昂貴的電極圖案掩膜。
顯 主要應(yīng)用：
薄膜FET和霍爾效應(yīng)測(cè)量樣品的電極形成。
從石墨烯/鉬原石中剝離電極形成并評(píng)估其特性。
研發(fā)應(yīng)用的圖案形成。
技術(shù)參數(shù)：
由于顯微鏡和DLP的結(jié)合，可以用很低的成本來(lái)構(gòu)建系統(tǒng)
易于使用的軟件可以輕松的創(chuàng)建曝光圖案
通過(guò)物鏡放大倍率圖案，可以進(jìn)行大范圍的批量曝光
可以連接到您自己的顯微鏡上（選項(xiàng)）
分辨率在微米級(jí)
曝光范圍：2.5mm×1.5mm *小100um×60um
可以連接到您自己的顯微鏡上（選項(xiàng)）
分辨率在微米級(jí)
曝光范圍：2.5mm×1.5mm *小100um×60um
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