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多毛細(xì)管準(zhǔn)直透鏡器件 將高度發(fā)散的 X 光束轉(zhuǎn)換成低發(fā)散的準(zhǔn)平行光束。這些透鏡器件主要應(yīng)用于 X 射線衍射 (XRD) 和波長(zhǎng)色散譜 (WDS)。
多毛細(xì)管聚焦透鏡器件 從 X 射線源收集 X 射線的大立體角，并將射線聚焦為小至 10 μm 的光斑。獲得的 X 射線通量密度比用常規(guī)針孔準(zhǔn)直器獲得的高幾個(gè)數(shù)量級(jí)。這些透鏡器件的主要應(yīng)用是微量 X 射線熒光 (XRF) 分析，廣泛用于薄膜和電鍍分析、貴金屬評(píng)估、合金測(cè)量和電路板涂層監(jiān)測(cè)。該透鏡器件還可用于在諸如共焦 XRF 分析和超導(dǎo)能量色散 X 射線光譜儀等應(yīng)用中進(jìn)行檢測(cè)。使用多毛細(xì)管聚焦透鏡器件將顯著提高檢測(cè)靈敏度，并允許使用低功率 X 射線管實(shí)現(xiàn)高性能。微米級(jí)空間分辨率使之可應(yīng)用于電子和貴金屬小特性評(píng)估。多毛細(xì)管透鏡器件提供 100x-10，000x 的增益，輸出焦點(diǎn)可小至 10 μm。
特性來(lái)自微米級(jí)光斑的量級(jí)通量增益 • 與緊湊型低功率電源集成，可提供相當(dāng)于旋轉(zhuǎn)陽(yáng)極源的通量 • 光譜帶寬較寬：50 eV - 50 KeV • 點(diǎn)對(duì)點(diǎn)會(huì)聚光束 • 點(diǎn)對(duì)平行光束 • 可定制設(shè)計(jì)機(jī)殼 優(yōu)勢(shì)極高的通量密度 • 提高了空間分辨率 • 非常適合分析形狀不規(guī)則、未經(jīng)制備或低阻抗的樣品 優(yōu)于電子探針 X 射線分析：• 增強(qiáng)檢測(cè)靈敏度 • 無(wú)需特殊樣品制備 • 在空氣中操作 | |
技術(shù)參數(shù)：
Focusing Optics | Applications include micro-XRF forelemental mapping， plating thickness and fine feature analysis. | |||||||
Working distance (mm) | 2 | 4 | 9 | 20 | 50 | 100 | 200 | |
Focal spot size* (μm， FWHM，17.4keV) | 7 | 15 | 25 | 45 | 100 | 180 | 300 | |
Intensity gain* (vs а plnhole collimator of same size， 100mm fгom the source) | 6000 | 4500 | 3500 | 2000 | 800 | 300 | 120 | |
Note: *With а 100μm X-ray source.
Half-focusing Optics (XRF/XAS) | Applications include micro XRF， micro XAS， and confocal XRF. | |||||
Working distance (mm) | 2 | 4 | 9 | 20 | 50 | |
Focal spot size* (μm， FWHM，17.4keV) | 7 | 15 | 25 | 45 | 100 | |
Intensity gain* (vs a pinhole collimatorof same size) | 850 | 550 | 400 | 200 | 80 | |
Note: *With an incident beam of 2mm in diameter and a divergent angle of <0.5mrad
Collimating/Parallel Beam Optics (XRD/WDS/XRF) | Applications include powder XRD， texture and stress analysis， WDS and confocal XRF. | ||||||||
Output beam diameter(mm) | 0.5 | 1 | 2 | 3 | 4 | 6 | 10 | 15 | |
Intensity gain* | 12 | 45 | 130 | 250 | 370 | 470 | 680 | 850 | |
Note: *With а 50μm X-ray source at 8keV， The lFD of the optics is 18mm and the output divergent angle is 0.2 degree.
Comparison of MXRF spectra generated using a focusing polycapillary optic and a pinhole aperture. The spectra was collected by scattering a Mo beam off Plexiglas. |
Figure 2: 采用光暈抑制型毛細(xì)管實(shí)現(xiàn)高分辨率 XRF Mapping
Comparison of MXRF spectra generated using a focusing polycapillary optic and a pinhole aperture. The spectra was collected by scattering a Mo beam off Plexiglas. |
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