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HTGB高溫柵偏測(cè)試系統(tǒng)是一款動(dòng)態(tài)ＨＴＧＢ測(cè)試系統(tǒng)。其優(yōu)點(diǎn)是軟件控制的測(cè)試過(guò)程、大量的測(cè)試設(shè)備和調(diào)整試驗(yàn)參數(shù)的靈活性。該系統(tǒng)用高壓變化來(lái)刺激被測(cè)器件的柵極在許多應(yīng)用中，特別是在新技術(shù)方面。用高壓變化對(duì)器件參數(shù)的影響在靜態(tài)ＨＴＧＢ測(cè)試中是看不到的。對(duì)于像碳化硅（ＳｉＣ）和氮化鎵（ＧａＮ）這樣的新型寬禁帶器件來(lái)說(shuō)，這種動(dòng)態(tài)HTGB技術(shù)尤其重要。
這套測(cè)試系統(tǒng)提供了柵閾值電壓的現(xiàn)場(chǎng)（就地）測(cè)量。通過(guò)中斷刺激，切換到測(cè)量電路，然后繼續(xù)刺激全自動(dòng)。每個(gè)ＤＵＴ停止刺激和測(cè)量之間的時(shí)間是恒定的，以避免不同結(jié)果的影響。沒(méi)有這些預(yù)防措施，可重復(fù)性和可比性設(shè)備會(huì)有限制。
全自動(dòng)測(cè)量取代了通常需要的手動(dòng)測(cè)量讀數(shù)節(jié)省時(shí)間和成本，同時(shí)提高觀察視野。測(cè)量的閾值電壓分為Ｖｔｈ（向上）和Ｖｔｈ（向下），每一個(gè)都有一個(gè)可配置預(yù)處理階段。
測(cè)試通道：
工作臺(tái)：１０，２０，４０個(gè)
機(jī)架（４２?。眨骸。矗啊ⅲ福?、１２０、１６０、２００、２４０?。模眨裕?/span>
全自動(dòng)原位Ｖｔｈ測(cè)量：
測(cè)量時(shí)間間隔
可定制的門刺激曲線（預(yù)處理）
將測(cè)量數(shù)據(jù)記錄到ＴＤＭＳ文件中
測(cè)試參數(shù)：
總測(cè)試時(shí)間（０－１５００ｈ）
外加漏極電壓（０Ｖ－２０００Ｖ）
冷熱板溫度：２０℃－２００℃
門刺激Ｖ＋?。ǎ埃郑常埃郑?、Ｖ－ （－１５Ｖ－０Ｖ）
門頻率（１００Ｈｚ?。。玻埃埃耄龋?/span>
Ｖｔｈ測(cè)量間隔（１０秒）
Ｖ測(cè)量電壓曲線
工作原理：
所設(shè)置的測(cè)試系統(tǒng)對(duì)高du/dt的柵極進(jìn)行刺激，以測(cè)試這些效應(yīng)的影響。
頻率比應(yīng)用中更快，以加速測(cè)試。
采用多次原位測(cè)量，顯示了趨勢(shì)和漂移。
應(yīng)用背景
•寬頻帶器件(SiC/GaN)在暴露于高du/dt時(shí)顯示出新的效果。
•這些效果會(huì)影響DUT的關(guān)鍵特性，從而影響應(yīng)用
•常規(guī)測(cè)試(H(3)TRB/HTGB)不存在這些影響
•全球標(biāo)準(zhǔn)化組織都在致力于發(fā)布動(dòng)態(tài)測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)
•作為德國(guó)汽車半導(dǎo)體工作組(ECPE AQG 324)的一部分參與該過(guò)程。
動(dòng)態(tài)高溫柵偏置功率半導(dǎo)體可靠性測(cè)試系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計(jì)，使其可擴(kuò)展性從40 個(gè)ＤＵＴ到240個(gè)ＤＵＴ的單個(gè)機(jī)架。這樣就可以在較小的占用空間上進(jìn)行有效的測(cè)試。
ＤＵＴ被安排在抽屜里每40 個(gè)ＤＵＴ，在應(yīng)用或工程環(huán)境中使用時(shí)，可根據(jù)要求提供桌面變體。這個(gè)桌面是一種適合工程實(shí)驗(yàn)室使用的小架子。它包含一個(gè)抽屜和額外的改變，允許更多的儀器或刺激來(lái)獲得更多的觀察視野，非常適合SiC功率器件可靠性測(cè)試。
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