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Quantus LP100低壓氣體光譜分析儀
Quantus LP100低壓氣體光譜分析儀

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特征概覽:

  • 等離子體頻率400M Hz， 光波長(zhǎng)范圍：190-890 納米
  • 易更換等離子體組件，低的運(yùn)行維護(hù)費(fèi)
  • KF25 標(biāo)準(zhǔn)連接口
  • 良好的探測(cè)精度至ppm級(jí)
  • 寬工作壓力范圍：10毫乇至1乇，無(wú)需泵組
  • 快速采樣頻率24赫茲
  • 小巧，易安裝

應(yīng)用：

  • 用于半導(dǎo)體，平板顯示器及太陽(yáng)能等行業(yè)PVD，CVD及刻蝕腔體檢漏，氣體組份比率及等離子體刻蝕終點(diǎn)探測(cè)（Endpoint）。
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用戶評(píng)論

產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價(jià)比

10分
評(píng)論內(nèi)容
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