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先進(jìn)，實(shí)用的單層和多層鍍膜速率控制
用于單層和多層鍍膜工藝的薄膜鍍層控制儀XTC/3
裝備有ModeLock1**技術(shù)，提供驗(yàn)證的模式跳躍防止功能，可達(dá)到始終如一的鍍膜質(zhì)量. 使用XTC/3薄膜鍍層控制儀，可高度精確地控制鍍膜速率與膜層厚度， 具有能控制幾乎任何膜層數(shù)量的能力，容易安裝，和極高的可靠性，可確保高的生產(chǎn)率.
| 特 點(diǎn) |
■ 有單膜層和多膜層型號(hào)
■ ModeLock**技術(shù)防止由于模式跳躍導(dǎo)致的膜厚誤差
■ 支持INFICON Crystal 12™， CrystalSix®和雙傳感器自動(dòng)晶體切換，用于**生產(chǎn)率
■ XTC/3M多膜層型號(hào)支持多至99個(gè)工藝過(guò)程， 999個(gè)膜層， 32個(gè)鍍層， 2個(gè)傳感器和兩個(gè)源
■ XTC/3S單膜層型號(hào)支持多至9個(gè)鍍層， 2個(gè)傳感器和兩個(gè)源
■ 易閱讀的TFT LCD圖形顯示器
■ 為便于檢索，可指定獨(dú)特的和描述性的薄膜與過(guò)程名稱(chēng)
■ 有以太網(wǎng)連接件
■ 單獨(dú)運(yùn)行(無(wú)需計(jì)算機(jī))或用PC運(yùn)行的Windows®軟件選件
■ INFICON XTC/2控制儀的即插即用更換件(限于XTC/2功能和指令組)
集成電路執(zhí)照
光學(xué)鍍膜
濺射鍍膜
薄膜太陽(yáng)能電池制造
OLED制造
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