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三維測(cè)力系統(tǒng)

三維測(cè)力系統(tǒng)是美嘉圖公司的**項(xiàng)目，于**，它有可供調(diào)節(jié)的三維機(jī)械轉(zhuǎn)軸和能夠精確移動(dòng)的Luld平臺(tái)，通過(guò)此平臺(tái)的精確移動(dòng)來(lái)保證抓取樣品的成功率，能保證精確地定位和多方向多角度的測(cè)量樣品和抓手之間的粘附力；可以做到準(zhǔn)確測(cè)量 5nN 到 100000nN 之間的壓縮力和張力；可安裝多種測(cè)量接頭以應(yīng)對(duì)復(fù)雜的測(cè)試環(huán)境和多樣的測(cè)試樣品。

一、 l Ludl 操作平臺(tái)與Z軸系統(tǒng)、機(jī)械手臂

采用美國(guó)LUDL公司出產(chǎn)的移動(dòng)平臺(tái)，擁有高分辨率的 0.1μm 分辨率的線性編碼器和交叉滾動(dòng)軸承導(dǎo)軌，保證了定位的精確性和穩(wěn)定度。機(jī)器手的長(zhǎng)度、Z 軸高度與傳感器接頭都是可定制的，可以滿足不同環(huán)境下的對(duì)不同形狀樣品的測(cè)量。精確的位置定位功能，可以輔助 MetaMorph 軟件對(duì)樣品進(jìn)行圖案化操作，實(shí)現(xiàn)微觀的樣品測(cè)試。

二、 0 MAC6000 平臺(tái)

MAC6000系統(tǒng)是LEP第六代自動(dòng)控制器。主要用于顯微鏡自動(dòng)系統(tǒng)，該系統(tǒng)具有靈活的通訊端口，并支持較大范圍的馬達(dá)驅(qū)動(dòng)和 I/O 控制設(shè)備。系統(tǒng)配置比先前 LEP 控制器早期的版本更加簡(jiǎn)化靈活。它具有卡盤(pán)式固定結(jié)構(gòu)，保證操作時(shí)樣品的固定。其消除了傳統(tǒng)設(shè)計(jì)既定的強(qiáng)加限制，MAC6000 控制器只能配備組件的不同組合，以滿足不同的應(yīng)用需求。MetaMorph 軟件實(shí)現(xiàn)樣品的精確定位及圖案化。

三、 顯微鏡

SMZ 1270 顯微鏡及通用支架技術(shù)參數(shù)：SMZ1270 顯微鏡為放大倍數(shù) 6.3x-80x；可以更換為 smz800N 型號(hào)，變倍系數(shù)及放大倍數(shù)與 smz1270 顯微鏡一致。通用支架：垂直移動(dòng)**距離 229mm，水平移動(dòng)**距離 272mm，聚焦區(qū)域40mm，加載接頭約 0.6kg，抗靜電。分辨率 0.9μm，景深 8.6μm。

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