參考價(jià)格
面議型號(hào)
低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備( LPCVD)品牌
艾科威產(chǎn)地
湖南樣本
暫無(wú)非金屬電熱元件：
其他金屬電熱元件：
其他燒結(jié)氣氛：
其他溫控精度：
-最高溫度：
-額定溫度：
-看了低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備( LPCVD)的用戶又看了
留言詢價(jià)
虛擬號(hào)將在 180 秒后失效
使用微信掃碼撥號(hào)
設(shè)備特點(diǎn)
●溫度控制采用串級(jí)控制方式，對(duì)基片實(shí)際溫度進(jìn)行實(shí)時(shí)智能控制。
●裝載采用SiC懸臂槳，避免了與工藝管磨擦產(chǎn)生粉塵。
●反應(yīng)氣體分子送氣和族射送氣，避免氣相反應(yīng)產(chǎn)生粉塵和改善均勻性。
●工作壓力閉環(huán)自動(dòng)控制，提高工藝穩(wěn)定性和重復(fù)性。
技術(shù)指標(biāo)
●基片尺寸：4,6,8英寸圓片
●工作溫度：500～900℃
●工藝管路：1～3管
●恒溫區(qū)長(zhǎng)度：400mm~800mm
●控溫精度：±0.5℃
●極限真空度：<1Pa
●膜厚均勻性：Si3N4：±3%； Poly-Si：±4%； TEOS-SiO2：±3%
應(yīng)用范圍
用于半導(dǎo)體器件、電力電子器件、光電子等行業(yè)氮化硅、多晶硅或氧化硅薄膜的制備
暫無(wú)數(shù)據(jù)！
低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備( LPCVD)的工作原理介紹？低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備( LPCVD)的使用方法？低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備( LPCVD)多少錢一臺(tái)？低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備( LPCVD)使用的注意事項(xiàng)低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備( LPCVD)的說(shuō)明書有嗎？低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備( LPCVD)的操作規(guī)程有嗎？低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備( LPCVD)的報(bào)價(jià)含票含運(yùn)費(fèi)嗎？低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備( LPCVD)有現(xiàn)貨嗎？低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備( LPCVD)包安裝嗎？
手機(jī)版：
工商已核實(shí)
