參考價格
面議型號
離子束刻蝕機品牌
艾科威產(chǎn)地
湖南樣本
暫無看了離子束刻蝕機的用戶又看了
留言詢價
虛擬號將在 180 秒后失效
使用微信掃碼撥號
設(shè)備特點
●工件臺：圓周旋轉(zhuǎn)或者掃描運動，刻蝕角度可調(diào)，刻蝕均勻性高，兼容刻蝕和拋光功能
●工件臺采用水冷，確保晶片低溫刻蝕
●可配置等離子體中和槍，確保晶片表面無電荷積累
●可配置法拉第測束裝置，確保工藝參數(shù)的可重復(fù)
●真空系統(tǒng)分子泵/低溫泵可選
技術(shù)指標
●工件臺
適用晶片尺寸：4"～8"，兼容不規(guī)則方片
圓周旋轉(zhuǎn)/往復(fù)掃描運動
●離子源：考夫曼離子源
離子束能量：0eV～1000eV連續(xù)可調(diào)
束流 ：**200mA （圓形）或**300mA （條形）
●刻蝕均勻性 ：片內(nèi)±5%，片間±3%
應(yīng)用范圍
用于在基板表面拋光或材料的去除，尤其適用于金屬材料薄膜的刻蝕，如Cu、Au、Pt、Ti、Ni、NiCr等
暫無數(shù)據(jù)！
離子束刻蝕機的工作原理介紹？離子束刻蝕機的使用方法？離子束刻蝕機多少錢一臺？離子束刻蝕機使用的注意事項離子束刻蝕機的說明書有嗎？離子束刻蝕機的操作規(guī)程有嗎？離子束刻蝕機的報價含票含運費嗎？離子束刻蝕機有現(xiàn)貨嗎？離子束刻蝕機包安裝嗎？
手機版：
工商已核實
