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KLA-Tencor先進(jìn)的探針式臺(tái)階儀，可精確測(cè)量納米級(jí)至2毫米臺(tái)階高度，并可分析薄膜表面粗糙度、波紋度、應(yīng)力，集高測(cè)量精度、多功能性和經(jīng)濟(jì)性于一體，是生產(chǎn)線及材料分析等應(yīng)用領(lǐng)域的理想選擇。因其具有6.0A (1σ)或0.1%臺(tái)階高度重復(fù)性以及亞埃級(jí)的分辨率，是目前商業(yè)化儀器里（經(jīng)市場(chǎng)驗(yàn)證）特別高精度的臺(tái)階儀產(chǎn)品。

KLA-Tencor AlphaStep輪廓儀配置自動(dòng)臺(tái)，采用了新型光學(xué)反射探測(cè)系統(tǒng)來測(cè)量高度，同時(shí)應(yīng)用電磁力控制探針壓力，能有效的實(shí)現(xiàn)超微力和低慣量 。這些創(chuàng)新型使表面輪廓儀能夠無傷測(cè)量軟薄膜樣品。

P-7探針式輪廓儀可靠的測(cè)量性能提供了行業(yè)先進(jìn)的測(cè)量重復(fù)性。自動(dòng)樣品臺(tái)，閉環(huán)自動(dòng)移動(dòng)范圍150mmx150mm，是市場(chǎng)上**具有長(zhǎng)掃描能力的探針式輪廓儀。UltraLite®傳感器包括動(dòng)力控制、優(yōu)良的線性度和垂直分辨率，使其成為表面測(cè)量系統(tǒng)中搶手的傳感器。