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GeminiSEM 系列產(chǎn)品

高對比度、低電壓成像的場發(fā)射掃描電子顯微鏡

為對任意樣品進(jìn)行高水準(zhǔn)的成像和分析而生

蔡司GeminiSEM 系列產(chǎn)品具有出色的探測效率，能夠輕松地實(shí)現(xiàn)亞納米分辨成像。無論是在高真空還是在可變壓力模式下，更高的表面細(xì)節(jié)信息靈敏度讓您在對任意樣品進(jìn)行成像和分析時(shí)都具備更佳的靈活性，為您在材料科學(xué)研究、生命科學(xué)研究、工業(yè)實(shí)驗(yàn)室或是顯微成像平臺(tái)中獲取各種類型樣品在微觀世界中清晰、真實(shí)的圖像，提供靈活、可靠的場發(fā)射掃描電子顯微鏡技術(shù)和方案。

GeminiSEM 300 具有出色的分辨率、更高的襯度和更大且無畸變的成像視野，可方便地選取適合樣品的真空度等環(huán)境參數(shù)，使FESEM初學(xué)者也能快速掌握.

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更靈活的成像方式

無論是資深用戶還是初學(xué)者，GeminiSEM 300將讓您體驗(yàn)到在更高的分辨率和更佳的襯度下進(jìn)行極大視野范圍成像的樂趣，并且在高真空或是可變壓力模式下都可以實(shí)現(xiàn)。

• 得益于高效的信號采集系統(tǒng)和優(yōu)異的分辨率性能，可實(shí)現(xiàn)快速、高質(zhì)量、無畸變的大范圍成像；

• 創(chuàng)新設(shè)計(jì)的高分辨率電子槍模式，為對磁性樣品、不導(dǎo)電樣品以及電子束敏感樣品的低電壓成像量身訂制解決方案；

• 蔡司獨(dú)樹一幟的鏡筒內(nèi)能量選擇背散射探測器，在低電壓下也可輕松地獲得高質(zhì)量的樣品材料襯度圖像；

• NanoVP技術(shù)讓您可以使用鏡筒內(nèi)Inlens二次電子探測器對要求苛刻的不導(dǎo)電樣品進(jìn)行高靈敏度、高分辨成像。

洞察產(chǎn)品背后的科技

Gemini電子光學(xué)系統(tǒng)

Gemini 1類型鏡筒 -延續(xù)創(chuàng)新和發(fā)展

如今，掃描電子顯微鏡（SEM）在低電壓下的高分辨成像能力，已成為其在各項(xiàng)應(yīng)用領(lǐng)域中的標(biāo)準(zhǔn)配置。

低電壓下的高分辨率成像能力，在以下應(yīng)用領(lǐng)域中扮演著尤為重要的角色：

• 電子束敏感樣品

• 不導(dǎo)電樣品

• 獲取樣品極表面的真實(shí)形貌信息

Gemini的革新電子光學(xué)設(shè)計(jì)，應(yīng)用高分辨率電子槍模式、以及Tandem decel樣品臺(tái)減速技術(shù)（選配），有效提高了在低電壓時(shí)的信號采集效率和圖像襯度。

• 高分辨率電子槍模式：

• 縮小30%的出射電子束能量展寬，有效地降低像差；

• 獲得更小的束斑。

• Tandem decel樣品臺(tái)減速技術(shù)，進(jìn)一步提高對適用樣品在低電壓甚至極低電壓下的分辨率：

• Tandem decel減速技術(shù)將鏡筒內(nèi)減速和樣品臺(tái)偏壓減速技術(shù)相結(jié)合，有效地實(shí)現(xiàn)低著陸電壓；

• 使用1 kV及以下更低電壓時(shí)，鏡筒內(nèi)背散射探測器的檢測效率獲得更好地增強(qiáng)，低電壓下的分辨率得到進(jìn)一步提高。

• 對適用的樣品可以加載高達(dá)-5 kV的樣品臺(tái)偏壓，在低電壓下獲得更高質(zhì)量的圖片

• 優(yōu)化靜電場和磁場的復(fù)合功效，在低電壓下具有的更高的分辨率；

• 提高鏡筒內(nèi)Inlens探測器在低電壓下的信號采集效率。

技術(shù)參數(shù)：