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PVD載盤品牌
華信工業(yè)產(chǎn)地
山東樣本
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碳化硅PVD載盤經(jīng)等靜壓工藝成型、高溫?zé)Y(jié)而成。亦可根據(jù)用戶設(shè)計圖紙要求進行外徑、厚度尺寸，穴位數(shù)量、尺寸、取片槽位置和形狀進行精加工，以滿足用戶的具體使用要求
特點和優(yōu)勢
高致密性
良好的導(dǎo)熱性、低膨脹系數(shù)和均溫性能
耐電漿沖擊性
耐各種強酸強堿化學(xué)試劑腐蝕
經(jīng)過半導(dǎo)體級別清洗
暫無數(shù)據(jù)！
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