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市場需求：

針對(duì)于半導(dǎo)體化學(xué)品和超純水（UPW）金屬污染的實(shí)時(shí)監(jiān)控，對(duì)于提供改進(jìn)制造工藝和提高產(chǎn)品產(chǎn)量所需的信息至關(guān)重要。在交付（通過罐車或桶）、中央化學(xué)品供應(yīng)等過程中，需要進(jìn)行 24/7 全天候金屬雜質(zhì)檢測，以監(jiān)控金屬污染的實(shí)時(shí)狀態(tài)。

優(yōu)勢：

我們公司先進(jìn)的在線實(shí)時(shí)痕量金屬監(jiān)測系統(tǒng)，可檢測半導(dǎo)體工藝化學(xué)品，超純水，為客戶提供**的半導(dǎo)體工藝化學(xué)品和超純水的監(jiān)控方案。

1.    全自動(dòng)系統(tǒng)，自動(dòng)取樣、稀釋、傳遞、檢測、清洗、校準(zhǔn)，實(shí)現(xiàn)24/7 全天候監(jiān)控；

2.    軟件系統(tǒng)與工廠MES實(shí)時(shí)通信，反饋數(shù)據(jù)，減少意外污染造成的產(chǎn)品損失；

3.    集成ICP-MS，全封閉設(shè)計(jì)，樣品經(jīng)管路直接進(jìn)入ICP-MS，降低污染的可能性；

4.    金屬元素檢測范圍廣，檢測精度高，檢測極限~1ppt；

5.    設(shè)備內(nèi)部酸、堿或其他區(qū)域隔離，均有各自的排水管裝置，防止交叉污染;

6.    泄漏聯(lián)鎖傳感器檢測到任何泄漏時(shí)自動(dòng)關(guān)閉所有化工閥門，安全可靠；

7. 由分析單元（CAU）和采樣單元（SSU）組成，*多支持4個(gè)SSU（20個(gè)取樣點(diǎn)），*遠(yuǎn)支持200米的輸送距離；