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半自動單軸減薄機品牌
蘇州辰軒產(chǎn)地
江蘇樣本
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設(shè)備概述
人工手動將產(chǎn)品放置在承片工作臺上,通過承片工作臺和砂輪軸的相對旋轉(zhuǎn),同時砂輪軸向下進給,對承片工作臺上的產(chǎn)品進行磨削加工,加工過程中使用在線厚度測量,控制產(chǎn)品厚度直至達到設(shè)定的目標厚度。
| 應用領(lǐng)域
應用于碳化硅(SiC)、硅(Si)、氮化鎵(GaN)、鍺(Ge)、砷化鎵(GaAs)、磷化銦(InP)等半導體材料的快速薄化,同時可用于藍寶石、陶瓷、水晶,以及棱鏡等光學產(chǎn)品的加工。
| 設(shè)備特點
? 金剛石砂輪電主軸、砂輪升降系統(tǒng)
金剛石砂輪驅(qū)動采用高速、高精度電主軸,實現(xiàn)產(chǎn)品加工,并減少產(chǎn)品的破損率,達到理想的TTV。
砂輪升降系統(tǒng)由伺服電機、諧波減速機與絲桿滑軌控制,使砂輪精確移動到加工設(shè)定位置。
? 晶片測量系統(tǒng)
通過設(shè)定初始厚度以及加工程序,使減薄加工逐步運行,達到精確的加工厚度。
采用意大利進口測厚系統(tǒng),實現(xiàn)實時監(jiān)測產(chǎn)品厚度。
? 旋轉(zhuǎn)工作臺系統(tǒng)
高精密真空陶瓷吸盤載臺。
X向自動進出料工作臺移動裝置。
? 自動冷卻液供給系統(tǒng)
加工過程中自動供給冷卻液,將加工過程中砂輪和產(chǎn)品之間由于高速磨削產(chǎn)生的熱量迅速帶走。
| 可選配置
? 空氣主軸
? 砂輪在線修整功能
? 單片/多片加工方式
? 接觸式/非接觸式厚度測量
暫無數(shù)據(jù)!