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離子刻蝕（拋光/研磨/截面）儀品牌
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技術參數(shù)：
1、真空度：極限真空度5*10-3Pa （不通氬氣）；
2、*高壓：（1）100~10000V；
3、樣品臺可旋轉(zhuǎn)；
4、具有自保護功能；
5、雙離子槍可獨立控制；
6、樣品冷卻：半導體冷卻（ 選配件）。
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