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產品詳情
1、水平雙腔布置,硬件成本低于兩臺單腔外延爐;
2、雙腔工藝和維護獨立,實現不停機連續(xù)生產；
3、兼容4/6寸晶圓外延生長,外延層質量優(yōu)異;
4、全自動上下料，釋放人工成本;
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