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小圓柱式微波等離子體沉積（CVD）系統(tǒng)品牌
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該設備為微波等離子化學氣相沉積系統(tǒng)（MWCVD）。采用2.45GHz頻率微波源，電場激發(fā)諧振腔模式為TM013模式，激發(fā)穩(wěn)定的等離子體。該系統(tǒng)可以穩(wěn)定生長金剛石單晶材料、多晶晶圓。通過工藝調節(jié),可以穩(wěn)定生長出 2 英寸金剛石晶圓。
主要應用領域：半導體襯底、熱沉片、珠寶、刀具、機械密封、新一代移動通信、智能電網、消費類電子等。
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