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XRD 系列
晶圓和鑄錠快速準(zhǔn)確的晶向定位
從全自動(dòng)的在線分析到晶圓材料的快速質(zhì)量檢查,我們的晶向定位解決方案在
設(shè)計(jì)時(shí)考慮到了晶棒、鑄錠、切片和晶圓的全部應(yīng)用場(chǎng)景。此系列產(chǎn)品利用
XRD分析技術(shù)在晶圓生產(chǎn)的全部流程中,提供簡(jiǎn)單、快速、高精度的晶體定
向測(cè)量,大大提高產(chǎn)品良率。
Omega/Theta(XRD)
用于超快晶體定向的全自動(dòng)垂直三軸XRD
10秒內(nèi)完成定向
定向精度:0.003°
定向轉(zhuǎn)移技術(shù):多鑄錠取向測(cè)定,實(shí)現(xiàn)高效切割
晶錠端面及定位邊定向和轉(zhuǎn)移夾具可選
光學(xué)測(cè)量工具可選,可測(cè)樣品直徑、平邊/V 槽位置、形狀、長(zhǎng)度、深度
適應(yīng)不同樣品的精密樣品轉(zhuǎn)盤(pán)、mapping臺(tái)和工裝夾具
搖擺曲線測(cè)量
DDCOM(XRD)
緊湊型超快晶體自動(dòng)定向儀
10秒內(nèi)完成定向
定向精度:0.01°
兩個(gè)閃爍探測(cè)器
專為方位角設(shè)置和晶向標(biāo)記而設(shè)計(jì)
可測(cè)直徑為 8 mm 至**225 mm的晶圓和晶錠
無(wú)需水冷
SDCOM(XRD)
用戶友好的緊湊型多功能XRD
超快測(cè)量,10秒內(nèi)返回結(jié)果
定向精度:0.01°
定向轉(zhuǎn)移技術(shù):多鑄錠取向測(cè)定,實(shí)現(xiàn)高效切割
光學(xué)測(cè)量工具可選,可測(cè)樣品直徑、平邊/V 槽位置、形狀、長(zhǎng)度、深度
樣品直徑1-200mm
無(wú)需水冷
XRD-OEM
在線晶體定向測(cè)定
標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)接口,可集成到任何自動(dòng)化或加工系統(tǒng)中
線切/研磨前對(duì)大型晶錠進(jìn)行全自動(dòng)在線定向
可內(nèi)置于磨床和切割機(jī)等惡劣環(huán)境中使用
平邊/V槽的光學(xué)測(cè)量功能,如位置、形狀、長(zhǎng)度、深度等
Wafer XRD 200 / 300
Wafer XRD 200
無(wú)縫融入生產(chǎn)線的全自動(dòng)高速XRD
用于3-8英寸晶圓片
定向精度:0.003°
產(chǎn)能:100萬(wàn)片/年
幾秒鐘內(nèi)提供各種基本參數(shù)的關(guān)鍵數(shù)據(jù),如晶體取向和電阻率、幾何特征(如 V 槽和平槽)、距離測(cè)量等
全自動(dòng)處理和揀選晶圓片
Wafer XRD 300
用于300mm晶圓生產(chǎn)的高速XRD
超快速提供12英寸晶圓的晶體取向和幾何特征等
定向精度:0.003°
幾秒鐘內(nèi)提供各種基本參數(shù)的關(guān)鍵數(shù)據(jù),如晶體取向和電阻率、幾何特征(如 V 槽和平槽)、距離測(cè)量等
附加功能
晶圓面掃 鑄錠堆垛
自動(dòng)化晶圓揀選 小樣品夾具
暫無(wú)數(shù)據(jù)!
隨著動(dòng)力電池和新能源汽車的需求爆發(fā),鋰電正極材料也正在快速迭代,其中三元材料逐漸成為動(dòng)力電池的主流選擇。目前三元材料中的鎳鈷錳成分分析多采用ICP分析方法,化學(xué)分析過(guò)程相對(duì)復(fù)雜、分析時(shí)間長(zhǎng)、梯度稀釋誤
2021-08-06
本文摘要新款激光粒度儀- Mastersizer 3000+的推出,為對(duì)粒度分析感興趣的科學(xué)家和研究人員的研究工作提供了許多新的可能。但當(dāng)您想將方法從MS 3000轉(zhuǎn)移到MS 3000+時(shí),可能會(huì)產(chǎn)生
本文摘要2024年度的Malvern Panalytical Scientific Award授予了中國(guó)青年科學(xué)家——北京大學(xué)高磊博士。日前,高磊博士親臨馬爾文帕納科位于上海的亞太卓越應(yīng)用中心,現(xiàn)場(chǎng)接
在科研與產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新的過(guò)程中,作為核心生產(chǎn)研發(fā)設(shè)備的精密儀器,其先進(jìn)性及性能穩(wěn)定性
本文摘要電極材料涂布的過(guò)程中,漿料的粘度和分散性非常重要,這些指標(biāo)會(huì)直接影響涂層厚度、均勻性、涂層密度,進(jìn)而影響生產(chǎn)效率和電池性能。形狀不規(guī)則的顆粒會(huì)造成堆積密度低,增加電極漿料的粘度,所以在電池材料
本文摘要新能源汽車在低溫環(huán)境下的電池性能下降,導(dǎo)致續(xù)航里程減少、充電效率降低等問(wèn)題。因此,研究者們?cè)絹?lái)越關(guān)注電池材料在不同溫度下的性能。本文介紹在Empyrean銳影衍射儀上,使用銀靶高穩(wěn)定性光管和銀
本文摘要無(wú)論是美國(guó)EPA、歐盟EC,還是我們的國(guó)標(biāo)GB中對(duì)燃油中二氧化硫排放的要求都越來(lái)越嚴(yán)格。在最新的標(biāo)準(zhǔn)中,道路燃料油的含硫量上限降至10ppm。與降低硫含量相結(jié)合,通過(guò)與生物燃料(如生物柴油和生