參考價(jià)格
面議型號(hào)
NMC508M 8英寸鋁金屬刻蝕機(jī)品牌
北方華創(chuàng)產(chǎn)地
北京樣本
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
NMC508M 8英寸鋁金屬刻蝕機(jī)是電感耦合高密度等離子體干法刻蝕機(jī),主要用于200mm硅片的金屬鋁和鎢的刻蝕工藝。NMC508M為多腔室集群設(shè)備(Cluster Tool),是一個(gè)全自動(dòng)的、能夠進(jìn)行串行或并行工藝處理的刻蝕系統(tǒng)。該系統(tǒng)主要由傳輸模塊(Transfer Module)、金屬刻蝕工藝模塊(Metal Etch Process Module)、去膠模塊(Strip Process Module)、冷卻模塊(Cooling station)、電源柜(Remote AC Power Rack)和控制柜(Control Rack)等組成,其中金屬刻蝕工藝模塊用于進(jìn)行金屬刻蝕工藝,去膠模塊用于去除金屬刻蝕后的殘余光刻膠和殘...
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