參考價(jià)格
面議型號(hào)
水平氧化擴(kuò)散爐品牌
華旗科技產(chǎn)地
山東樣本
暫無(wú)額定溫度:
200~1300℃/1350℃非金屬電熱元件:
其他金屬電熱元件:
其他燒結(jié)氣氛:
氧氣溫控精度:
-最高溫度:
-看了水平氧化擴(kuò)散爐的用戶又看了
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產(chǎn)品性能:
4~8寸晶圓工藝,每臺(tái)1~4/5管
恒溫區(qū):800/1000/1250mm
溫度:200~1300℃/1350℃
全自動(dòng)機(jī)械手裝卸,懸臂/軟著陸
晶圓自動(dòng)倒片,完整的工廠MES系統(tǒng)對(duì)接,符合SECSⅡ/HSMS/GEM等標(biāo)準(zhǔn)
配套工藝:
擴(kuò)散:氣態(tài)/液態(tài)/固態(tài)源磷硼擴(kuò)散
氧化:干氧/濕氧(DCE, HCL)
氮、氫退火,燒結(jié)、合金等
暫無(wú)數(shù)據(jù)!