規(guī)格外形（長*寬*高）：
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Sciyea的FSP系列，由聚氨酯發(fā)泡制作而成。根據(jù)不同的研磨材料，分為氧化鈰填充物、氧化鋯填充物、氧化鋁填充物、以及不含磨料的純聚氨酯拋光墊。
基本信息
厚度：0.5-4.0mm；
圓片尺寸：590mm、640mm、820mm、960mm、1050mm、1180mm、1340mm；
方片尺寸：590*1400、650*1400、700*1400、840*1700、1000*1000mm；
特性
使用壽命長、精度高；
熱熔膠（背膠）可以根據(jù)客戶的特殊要求提供；
精度高，適用于工件粗拋；
可提供標(biāo)準(zhǔn)開槽或根據(jù)客戶需求特殊規(guī)格開槽。
產(chǎn)品詳情
| 型號 | 硬度 | 密度（g/c㎡） | 填充物 | 應(yīng)用領(lǐng)域 |
FSP66 | 80 | 0.42 | CeO? | 精密光學(xué)、晶圓、晶體 |
| FSP66B | 85 | 0.43 | CeO? | 精密光學(xué)、晶圓、晶體 |
| FSP66C | 85 | 0.43 | CeO? | 精密光學(xué)、晶圓、晶體、LCD |
FSP13 | 66 | 0.35 | CeO? | 精密光學(xué)、晶圓、晶體 |
| FSP35 | 90 | 0.59 | ZrO? | 精密光學(xué)、晶圓、晶體、LCD |
| FSP26 | 88 | 0.57 | ZrO? | 精密光學(xué)、玻璃 |
| FSP57 | 88 | 0.51 | None | 精密光學(xué)、石英、半導(dǎo)體基板 |
FSP20 | 92 | 0.58 | None | 精密光學(xué)、晶圓、晶體 |
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