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可作為高純氦氣的輸送載體，是連接氦氣壓縮機(jī)和低溫真空泵或低溫制冷機(jī)的氨氣輸送管線，也可作為單獨(dú)的輸氣管線使用，比如應(yīng)用于PVD機(jī)臺(tái)和離子注入機(jī)臺(tái)中作為低溫泵組系統(tǒng)氦氣的輸送和分配管路。管線主要采用潔凈不銹鋼硬管和柔性軟管制作，具備較低的氨氣泄漏率、較高的潔凈度、方便拆卸的快速連接接頭，接頭具備自密封功能，保證氦氣純度和密封壓力。
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