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雙光束激光干涉儀 aixDBLI
雙光束激光干涉儀 aixDBLI

參考價(jià)格

面議

型號(hào)

雙光束激光干涉儀 aixDBLI

品牌

欣源科技

產(chǎn)地

北京

樣本

暫無
欣源科技(北京)有限公司

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第1年

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雙光束激光干涉儀專門用于壓電薄膜的蝴蝶曲線和縱向壓電系數(shù)d33的測(cè)試。
這是世界上**臺(tái)適合于從小尺寸薄膜到8英寸晶圓表征的雙光束激光干涉儀。
半自動(dòng)的系統(tǒng)用于8"晶圓上的MEMS器件的壓電性和電性相關(guān)性能的測(cè)試。
大量樣品測(cè)試的重復(fù)精度可達(dá)2%以上。

測(cè)試功能:
機(jī)電大信號(hào)應(yīng)變、極化、壓電系數(shù)、小信號(hào)介電常數(shù)。
疲勞和電性及機(jī)械性能可靠性。

樣品測(cè)試:
極化曲線和位移曲線。
小信號(hào)電容及壓電系數(shù)。

技術(shù)參數(shù):
分辨率: ≤1 pm(X晶向的石英)
測(cè)量范圍:5pm- +/- 25nm
波長:632.8nm
位移/應(yīng)力測(cè)試:>50Hz,*小1Hz分辨率,100mV到10V(可選到200V)
壓電d33系數(shù):
  基電壓100mV到10V(1mHz到1Hz),可選到200V
  小信號(hào)100mV到10V(1kHz到5kHz)
C-V測(cè)試:
  基電壓100mV到10V(1mHz到1Hz),可選到200V
小信號(hào)100mV到10V(1kHz到5kHz)


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10分

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