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Solid SiC系列
Solid SiC系列

參考價格

面議

型號

Solid SiC系列

品牌

湖南德智

產(chǎn)地

湖南

樣本

暫無
湖南德智新材料股份有限公司

高級會員

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第1年

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生產(chǎn)商

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德智新材產(chǎn)品涵蓋碳基、陶瓷及其高端材料,應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片制造各個環(huán)節(jié),如單晶生長、外延、刻蝕、擴散、CVD、PVD等。產(chǎn)品性能媲美海外SiC耗材先進友商,助力高端制造國產(chǎn)化。

 

 

應(yīng)用場景

晶圓制造

? 外延

? 擴散

? 刻蝕

 

實現(xiàn)技術(shù)

? 精密加工(石墨)

? 低壓化學(xué)氣相沉積  (LPCVD)

? 精密加工(β-SiC)


 

性能要求

? 致密度高

? 電阻率可控

? 高純度

? 高導(dǎo)熱

? 耐腐蝕


 

應(yīng)用領(lǐng)域

? LED光電

? 集成電路

? 第三代半導(dǎo)體


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