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? 基材：等靜壓石墨（厚度>0.5 mm） | ? 涂層：TaC（厚度<300 μm） |
晶圓制造
? 單晶生長 | ? 外延 |
? 精密加工（石墨） | ? 低壓化學(xué)氣相沉積（LPCVD） |
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