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【設(shè)備特點】

□ 整機(jī)高度防腐，可實現(xiàn)高精度化學(xué)機(jī)械拋光工藝；

□ 選配藍(lán)牙系統(tǒng)，可多機(jī)聯(lián)控；

□ 多通道進(jìn)料系統(tǒng)；

□ 在線實時磨拋盤溫控及冷卻功能；

□ 磨拋盤自動沖洗功能；

【設(shè)備參數(shù)】

【技術(shù)應(yīng)用】

適用材料  廣泛應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體材料、金屬薄膜、光電材料等平面、端面及角度拋光，由于整機(jī)高度防腐，耐強(qiáng)酸強(qiáng)堿強(qiáng)氧化劑，除主要加工材料氮化鎵、金剛石、氧化鎵、多晶碳化硅外，還特別適用于CZT、MCT、GaAs、InP及類似材料的化學(xué)拋光。

應(yīng)用領(lǐng)域   廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體材料襯底減薄拋光、器件制備、先進(jìn)封裝及MEMS等相關(guān)領(lǐng)域，例如TC-SAW、FBAR、激光器、硅光子器件、TSV、SIP、Fan-out、MEMS高溫壓力傳感器、MEMS陀螺儀等。

【設(shè)備說明】

○ 整機(jī)高度防腐，可在耐強(qiáng)酸強(qiáng)堿強(qiáng)氧化劑的工藝環(huán)境下實現(xiàn)穩(wěn)定高效運行；

○ 研磨拋光盤轉(zhuǎn)速可自主設(shè)定，轉(zhuǎn)速范圍為0-120rpm；

○ 工作時間可自主設(shè)定，連續(xù)運轉(zhuǎn)時間可達(dá)10個小時；

○ 通過選配藍(lán)牙系統(tǒng)可實現(xiàn)一個終端多機(jī)聯(lián)控，減少人工，且工藝程序所有控制參數(shù)均可在顯示屏獨立顯示；

○ 研磨工藝轉(zhuǎn)到拋光工藝時，研磨盤與拋光盤的更換簡捷方便，全系列磨頭及附件均適配；

○ 填料系統(tǒng)自動控制，滴料速度可調(diào)；

○ 夾具擺幅及速度可精確控制，且擺幅范圍：0－100%；

○ 夾具壓力可調(diào)，可調(diào)范圍可達(dá)7kg；

○ 樣品去除厚度可控，去除量精度1μm；

○ 配有獨立真空單元，樣片通過真空吸附固定到夾具上面；

○ 可定制固定組件，實現(xiàn)端面及角度磨拋工藝；

○ 可選配盤溫監(jiān)控功能，監(jiān)測精度1℃；

○ 可獨立顯示并指示實際工作時長，在完成既定工藝程序后自動關(guān)機(jī)。

【系列型號】