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GIGAbatch 310M等離子系統(tǒng) 是 GIGAbatch 產品系列中的入門級型號。作為*小的系統(tǒng)，GIGAbatch 310M具有較高的性價比，憑借先進的等離子技術以及經濟實惠等優(yōu)點，它是實驗室和大學的理想之選。然而，即使是基礎版本，它也可用于使用 MFC 氣體管道和 600 W 發(fā)生器，執(zhí)行手動和自動等離子處理。

基礎版本的桌面型；為第二個氣體管道提供空間

腔室*多可容納 25 片直徑為 150 毫米的晶圓，可以使用石英舟批量處理，或使用帶有特殊裝載裝置進行單片處理

各種個性化配置的配件

具有特殊密封材料的配置，帶冷卻板和循環(huán)冷卻器的腔室可用于從晶圓上去除 SU-8。