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GIGAfab M等離子系統(tǒng)
GIGAfab M等離子系統(tǒng)可用于具有更嚴(yán)苛要求和特殊等離子源的應(yīng)用中，適用于半導(dǎo)體行業(yè)等多個領(lǐng)域。基板由手工裝載到工藝室，從單個**到 300 mm晶圓（也包含薄膜減?。┑缴贁?shù)幾片更小的晶圓。均勻性高達 5% 的平面源用于去除光刻膠（通過 300 mm晶圓測量）?；蛘撸谶h程操作中，徑向源可用于蝕刻硅并減少薄晶圓或組件上的應(yīng)力。
等離子系統(tǒng) GIGAfab M的優(yōu)勢及相關(guān)設(shè)備：
配備帶拉出式工作臺的工藝室
晶圓支架安裝在內(nèi)部，可根據(jù)應(yīng)用進行加熱或冷卻
或者，帶有冷卻回路和冷卻單元的系統(tǒng)，溫度范圍為 20 °C 至 95 °C（用于蝕刻硅或去除 SU-8）或高達 300 °C 的電加熱系統(tǒng)，可選空氣冷卻配置以實現(xiàn)穩(wěn)定的工藝范圍在 60 °C 和 300 °C 之間
系統(tǒng)控制基于帶觸摸屏的PC系統(tǒng)，使工藝過程可以在手動和自動多步操作中運行。該標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)包含一個用于穩(wěn)定過程壓力的控制閥，以及兩個帶自動流量控制器 (MFC) 的氣體管道；另外也可選配額外兩個氣體管道。
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