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石英晶圓通孔TGV品牌
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特性 | 石英 JGS1 | 石英 JGS2 | TGV工藝石英 | 高硼硅玻璃 BF33 |
材料類型 | 220nm - 2500nm | 中等純度石英（天然或合成） | 高純度石英（可能為合成或熔融石英） | 高硼硅玻璃（含硼氧化物） |
主要成分 | SiO?（>99.99%） | SiO?（>99.9%） | SiO?（>99.9%） | SiO?（約81%）、B?O?（約13%） |
羥基含量 | 高（約1000 ppm） | 低（約200 ppm） | 低（通常<10 ppm） | 低（<10 ppm） |
熱膨脹系數(shù) | 0.55 × 10?? /K（極低膨脹） | 0.55 × 10?? /K（極低膨脹） | 熱膨脹系數(shù)低 | 3.25 × 10?? /K（低膨脹） |
耐熱性 | 極高（軟化點(diǎn)約1700°C） | 極高（軟化點(diǎn)約1700°C） | 極高，耐高溫 | 較高（軟化點(diǎn)約820°C） |
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