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Sharpla600 系列缺陷檢測(cè)設(shè)備品牌
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浙江樣本
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Sharpla 600 是專門為檢測(cè) SiC （碳化硅） 缺陷而設(shè)計(jì)的一款國(guó)產(chǎn)自研檢測(cè)設(shè)備。針對(duì) SiC 襯底和 SiC 外延片各種缺陷檢測(cè)。Sharpla 600 采用明場(chǎng)、暗場(chǎng)和光致發(fā)光相結(jié)合的先進(jìn)光學(xué)技術(shù)，能夠快速、準(zhǔn)確地檢測(cè)出各類缺陷。算法采用經(jīng)典算法與人工智能算法相結(jié)合的方式，使其在數(shù)據(jù)處理和分析方面更加快速、精確。
結(jié)合 DIC、DF 以及 PL 三種光學(xué)模式進(jìn)行檢測(cè)，實(shí)現(xiàn)全面檢測(cè)和測(cè)量，提高檢測(cè)效率和準(zhǔn)確性。
檢測(cè)精度：0.3μm
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