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12吋薄膜沉積設(shè)備 PECVD-ZARVIS品牌
盛吉盛產(chǎn)地
浙江樣本
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ZARVIS應(yīng)用于邏輯和存儲客戶的多個節(jié)點制程,優(yōu)良的結(jié)構(gòu)設(shè)計使腔體有高真空的密閉環(huán)境,工藝氣體分布均勻,等離子體穩(wěn)定,高效率RPS(Clean)和均勻的加熱功能等特點。
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