中國(guó)粉體網(wǎng)訊 隨著芯片特征尺寸的減小和鹵素類等離子體能量的逐漸提高,刻蝕機(jī)工藝腔和腔體內(nèi)部件的耐等離子體刻蝕性能變得越來(lái)越重要。相對(duì)于有機(jī)和金屬材料,陶瓷材料一般都具有較好的耐物理和化學(xué)腐蝕性能以及很高的工作溫度,因而在半導(dǎo)[更多]
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