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光掩膜基板

推薦小小一片石英玻璃,竟是這種半導(dǎo)體部件的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料

中國粉體網(wǎng)訊近年來,半導(dǎo)體技術(shù)的集成化發(fā)展迅速,制造半導(dǎo)體器件的光刻法工藝得到提升,對半導(dǎo)體器件的材料精度要求也越來越高。光掩膜技術(shù)作為半導(dǎo)體技術(shù)中的重要組成部分,其制作材料包含玻璃基板、鍍鉻膜層、光刻膠、光學(xué)膜等,其中玻璃[更多]

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