近日,中山大學(xué)發(fā)布多批政府采購(gòu)意向,預(yù)算高達(dá)0.96億元,其中囊括化學(xué)機(jī)械拋光相關(guān)設(shè)備,預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間為2024年12月~2025年1月;瘜W(xué)機(jī)械拋光(Chemical Mechanical Polishing,CMP)技術(shù)被[更多]
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