中國粉體網(wǎng)訊 隨著半導(dǎo)體技術(shù)的飛速發(fā)展,碳化硅(SiC)作為一種卓越的高性能材料,正日益成為科研界關(guān)注的焦點。然而,其卓越的硬度和化學(xué)穩(wěn)定性特性,在為材料帶來優(yōu)勢的同時,也給拋光工藝設(shè)置了重重難關(guān)。特別是在晶圓的精密制造環(huán)節(jié)[更多]
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