推薦碳化硅單晶切割技術(shù)研究

中國粉體網(wǎng)訊 碳化硅單晶材料以其優(yōu)良的性質(zhì)，可以實現(xiàn)半導(dǎo)體照明，提高光存儲密度，改善裝備性能，具有廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域及廣闊的應(yīng)用前景。依據(jù)器件的使用，要求碳化硅單晶拋光片要有高的表面質(zhì)量：表面光滑、表面粗糙度低、無缺陷、無損傷，[更多]