中國粉體網(wǎng)訊 芯片制造對原材料硅片的品質(zhì),尤其純度、缺陷密度、位錯、雜質(zhì)(氧、碳、金屬離子)含量等方面要求極為嚴苛。作為承載多晶硅熔融料的石英坩堝,其與硅料及其熔融液直接接觸,特別是在高溫(1,420℃)生產(chǎn)環(huán)境下,其本身的[更多]
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