推薦中科院自主研制新型紫外納米壓印光刻機(jī) 有望提升我國(guó)微納級(jí)制造業(yè)能力

中國(guó)粉體網(wǎng)訊 記者日前從中科院光電技術(shù)研究所獲悉，該所微電子專(zhuān)用設(shè)備研發(fā)團(tuán)隊(duì)已自主研制出一種新型紫外納米壓印光刻機(jī)，其成本僅為國(guó)外同類(lèi)設(shè)備1/3，將有力推進(jìn)我國(guó)芯片加工等微納級(jí)結(jié)構(gòu)器件制造水平邁上新的臺(tái)階�！　」饪虣C(jī)是微納[更多]