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馬爾文帕納科
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馬爾文帕納科
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XRD 系列
晶圓和鑄錠快速準(zhǔn)確的晶向定位
從全自動的在線分析到晶圓材料的快速質(zhì)量檢查,我們的晶向定位解決方案在
設(shè)計時考慮到了晶棒、鑄錠、切片和晶圓的全部應(yīng)用場景。此系列產(chǎn)品利用
XRD分析技術(shù)在晶圓生產(chǎn)的全部流程中，提供簡單、快速、高精度的晶體定
向測量，大大提高產(chǎn)品良率。
Omega/Theta（XRD）
用于超快晶體定向的全自動垂直三軸XRD
10秒內(nèi)完成定向
定向精度：0.003°
定向轉(zhuǎn)移技術(shù)：多鑄錠取向測定，實現(xiàn)高效切割
晶錠端面及定位邊定向和轉(zhuǎn)移夾具可選
光學(xué)測量工具可選，可測樣品直徑、平邊/V 槽位置、形狀、長度、深度
適應(yīng)不同樣品的精密樣品轉(zhuǎn)盤、mapping臺和工裝夾具
搖擺曲線測量
DDCOM（XRD）
緊湊型超快晶體自動定向儀
10秒內(nèi)完成定向
定向精度：0.01°
兩個閃爍探測器
專為方位角設(shè)置和晶向標(biāo)記而設(shè)計
可測直徑為 8 mm 至**225 mm的晶圓和晶錠
無需水冷
SDCOM（XRD）
用戶友好的緊湊型多功能XRD
超快測量，10秒內(nèi)返回結(jié)果
定向精度：0.01°
定向轉(zhuǎn)移技術(shù)：多鑄錠取向測定，實現(xiàn)高效切割
光學(xué)測量工具可選，可測樣品直徑、平邊/V 槽位置、形狀、長度、深度
樣品直徑1-200mm
無需水冷
XRD-OEM
在線晶體定向測定
標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)接口，可集成到任何自動化或加工系統(tǒng)中
線切/研磨前對大型晶錠進(jìn)行全自動在線定向
可內(nèi)置于磨床和切割機(jī)等惡劣環(huán)境中使用
平邊/V槽的光學(xué)測量功能，如位置、形狀、長度、深度等
Wafer XRD 200 / 300
Wafer XRD 200
無縫融入生產(chǎn)線的全自動高速XRD
用于3-8英寸晶圓片
定向精度：0.003°
產(chǎn)能：100萬片/年
幾秒鐘內(nèi)提供各種基本參數(shù)的關(guān)鍵數(shù)據(jù)，如晶體取向和電阻率、幾何特征（如 V 槽和平槽）、距離測量等
全自動處理和揀選晶圓片
Wafer XRD 300
用于300mm晶圓生產(chǎn)的高速XRD
超快速提供12英寸晶圓的晶體取向和幾何特征等
定向精度：0.003°
幾秒鐘內(nèi)提供各種基本參數(shù)的關(guān)鍵數(shù)據(jù)，如晶體取向和電阻率、幾何特征（如 V 槽和平槽）、距離測量等
附加功能
晶圓面掃 鑄錠堆垛
自動化晶圓揀選 小樣品夾具
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企業(yè)名稱
馬爾文帕納科企業(yè)類型
有限責(zé)任公司(外國法人獨資)信用代碼
310000400417821法人代表
SIMONPAULEAGLE注冊地址
上海市閔行區(qū)元山路88弄9號成立日期
2005-03-22注冊資本
200萬(美元)有效期限
2005-03-22 至 2035-03-21
經(jīng)營范圍
一般項目：實驗分析儀器制造；儀器儀表制造；智能儀器儀表制造；專用設(shè)備制造（不含許可類專業(yè)設(shè)備制造）；虛擬現(xiàn)實設(shè)備制造；氣體、液體分離及純凈設(shè)備制造；工業(yè)自動控制系統(tǒng)裝置制造；專用儀器制造；儀器儀表修理；環(huán)境監(jiān)測專用儀器儀表制造；通用設(shè)備制造（不含特種設(shè)備制造）；其他通用儀器制造；專用設(shè)備修理；機(jī)械零件、零部件加工；機(jī)械設(shè)備租賃；特種設(shè)備銷售；軟件開發(fā)；軟件銷售；機(jī)械零件、零部件銷售；環(huán)境監(jiān)測專用儀器儀表銷售；氣體、液體分離及純凈設(shè)備銷售；實驗分析儀器銷售；工業(yè)自動控制系統(tǒng)裝置銷售；電子產(chǎn)品銷售；機(jī)械設(shè)備銷售；技術(shù)服務(wù)、技術(shù)開發(fā)、技術(shù)咨詢、技術(shù)交流、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)推廣；標(biāo)準(zhǔn)化服務(wù)；銷售代理；國內(nèi)貿(mào)易代理；儀器儀表銷售；商務(wù)代理代辦服務(wù)；信息系統(tǒng)集成服務(wù)；智能儀器儀表銷售；企業(yè)管理；企業(yè)管理咨詢；信息技術(shù)咨詢服務(wù)；租賃服務(wù)（不含許可類租賃服務(wù)）；工業(yè)酶制劑研發(fā)；計量技術(shù)服務(wù)；數(shù)據(jù)處理和存儲支持服務(wù)；貨物進(jìn)出口；技術(shù)進(jìn)出口；進(jìn)出口代理；企業(yè)總部管理。（除依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目外，憑營業(yè)執(zhí)照依法自主開展經(jīng)營活動） 許可項目：危險化學(xué)品經(jīng)營；特種設(shè)備安裝改造修理；特種設(shè)備制造；Ⅱ、Ⅲ、Ⅳ、Ⅴ類放射源銷售。（依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動，具體經(jīng)營項目以相關(guān)部門批準(zhǔn)文件或許可證件為準(zhǔn)
