馬爾文帕納科
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馬爾文帕納科
已認(rèn)證
Wafer XRD用于全自動(dòng)晶圓揀選、生產(chǎn)和質(zhì)量控制
特點(diǎn)
適用于3到8寸晶圓。也可根據(jù)要求提供其他尺寸
FOUP、載具或單個(gè)晶圓臺(tái)
跨槽晶圓識(shí)別為可選功能
易于集成到任何工藝生產(chǎn)線中
測(cè)量速度:每個(gè)樣品<10秒
典型標(biāo)準(zhǔn)偏差(傾斜度):例如Si 100<0.003°
MES和SECS/GEM接口
銅靶微焦點(diǎn)風(fēng)冷X射線光管(**30W)或細(xì)焦點(diǎn)水冷X射線光管(**1.5kW)
完全符合CE標(biāo)準(zhǔn)的安全控制裝置
通過3色燈塔指示狀
材料
Si、SiC、GaAs、GaN、藍(lán)寶石(Al?O?)、Ge、AIN、石英、InP和100s等。
可選插件
電阻率測(cè)量范圍:0.01至0.020Ωcm
自動(dòng)識(shí)別晶圓數(shù)據(jù)矩陣碼、二維碼、條形碼或類似代碼
未拋光晶圓和鏡面的距離測(cè)量
年產(chǎn)1,000,000片晶圓
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企業(yè)名稱
馬爾文帕納科企業(yè)類型
有限責(zé)任公司(外國(guó)法人獨(dú)資)信用代碼
310000400417821法人代表
SIMONPAULEAGLE注冊(cè)地址
上海市閔行區(qū)元山路88弄9號(hào)成立日期
2005-03-22注冊(cè)資本
200萬(美元)有效期限
2005-03-22 至 2035-03-21經(jīng)營(yíng)范圍
一般項(xiàng)目:實(shí)驗(yàn)分析儀器制造;儀器儀表制造;智能儀器儀表制造;專用設(shè)備制造(不含許可類專業(yè)設(shè)備制造);虛擬現(xiàn)實(shí)設(shè)備制造;氣體、液體分離及純凈設(shè)備制造;工業(yè)自動(dòng)控制系統(tǒng)裝置制造;專用儀器制造;儀器儀表修理;環(huán)境監(jiān)測(cè)專用儀器儀表制造;通用設(shè)備制造(不含特種設(shè)備制造);其他通用儀器制造;專用設(shè)備修理;機(jī)械零件、零部件加工;機(jī)械設(shè)備租賃;特種設(shè)備銷售;軟件開發(fā);軟件銷售;機(jī)械零件、零部件銷售;環(huán)境監(jiān)測(cè)專用儀器儀表銷售;氣體、液體分離及純凈設(shè)備銷售;實(shí)驗(yàn)分析儀器銷售;工業(yè)自動(dòng)控制系統(tǒng)裝置銷售;電子產(chǎn)品銷售;機(jī)械設(shè)備銷售;技術(shù)服務(wù)、技術(shù)開發(fā)、技術(shù)咨詢、技術(shù)交流、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)推廣;標(biāo)準(zhǔn)化服務(wù);銷售代理;國(guó)內(nèi)貿(mào)易代理;儀器儀表銷售;商務(wù)代理代辦服務(wù);信息系統(tǒng)集成服務(wù);智能儀器儀表銷售;企業(yè)管理;企業(yè)管理咨詢;信息技術(shù)咨詢服務(wù);租賃服務(wù)(不含許可類租賃服務(wù));工業(yè)酶制劑研發(fā);計(jì)量技術(shù)服務(wù);數(shù)據(jù)處理和存儲(chǔ)支持服務(wù);貨物進(jìn)出口;技術(shù)進(jìn)出口;進(jìn)出口代理;企業(yè)總部管理。(除依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目外,憑營(yíng)業(yè)執(zhí)照依法自主開展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)) 許可項(xiàng)目:危險(xiǎn)化學(xué)品經(jīng)營(yíng);特種設(shè)備安裝改造修理;特種設(shè)備制造;Ⅱ、Ⅲ、Ⅳ、Ⅴ類放射源銷售。(依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營(yíng)活動(dòng),具體經(jīng)營(yíng)項(xiàng)目以相關(guān)部門批準(zhǔn)文件或許可證件為準(zhǔn)