湖南頂立科技股份有限公司
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立式化學氣相沉積爐(沉積炭)可用于以碳氫氣體(如C3H8、CH4等)為碳源的材料表面或基體等溫CVD/CVI處理。
☆ 采用多溫區(qū)獨立控溫,溫度均勻性好;
☆ 采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室,密封效果好,抗污染能力強;
☆ 采用多通道沉積氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;
☆ 對炭沉積過程中產(chǎn)生的焦油、固體粉塵、有機氣體等能進行有效處理。
參數(shù)\型號 | VCVD-0305-C | VCVD-0608-C | VCVD-0812-C | VCVD-1120-C | VCVD-1320-C | VCVD-1520-C |
工作區(qū)尺寸D×H(mm) | Φ300×500 | Φ600×800 | Φ800×1200 | Φ1100×2000 | Φ1300×2000 | Φ1500×2000 |
**溫度(℃) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
溫度均勻性(℃) | ±5/±10 | ±7.5/±10 | ±7.5/±15 | ±10/±15 | ±10/±15 | ±10/±20 |
極限真空度(Pa) | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
壓升率(Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
加熱方式 | 電阻/感應 | 電阻/感應 | 電阻/感應 | 電阻/感應 | 電阻/感應 | 電阻/感應 |
參數(shù)\型號 | VCVD-1822-C | VCVD-2032-C | VCVD-2632-C | VCVD-3338-C | VCVD-3344-C |
工作區(qū)尺寸D×H(mm) | Φ1800×2200 | Φ2000×3200 | Φ2600×3200 | Φ3300×3800 | Φ3300×4400 |
**溫度(℃) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
溫度均勻性(℃) | ±15 | ±15 | ±15 | ±20 | ±20 |
極限真空度(Pa) | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
壓升率(Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
加熱方式 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 |
以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進行調(diào)整,不作為驗收依據(jù),具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準。
☆ 爐門:絲桿升降/液壓升降/手動升降;旋轉(zhuǎn)移開/平行移開(大尺寸爐門);手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊
☆ 爐殼:全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
☆ 爐膽:軟碳氈/軟石墨氈/硬質(zhì)復合氈/CFC
☆ 加熱器、馬弗:等靜壓石墨/模壓三高石墨/細顆粒石墨
☆ 工藝氣路系統(tǒng):體積/質(zhì)量流量計;手動閥/自動閥;進口/國產(chǎn)
☆ 熱電偶:K分度號/N分度號/C分度號/S分度號
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企業(yè)名稱
湖南頂立科技股份有限公司企業(yè)類型
其他股份有限公司(非上市)信用代碼
91430100788042096T法人代表
戴煜注冊地址
中國(湖南)自由貿(mào)易試驗區(qū)長沙片區(qū)星沙產(chǎn)業(yè)基地(長龍街道)涼塘東路1271號成立日期
2006-05-25注冊資本
3989.2752萬人民幣有效期限
2006-05-25 至 無固定期限經(jīng)營范圍
許可項目:第二類醫(yī)療器械生產(chǎn);第三類醫(yī)療器械生產(chǎn);第三類醫(yī)療器械經(jīng)營(依法須經(jīng)批準的項目,經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動,具體經(jīng)營項目以相關(guān)部門批準文件或許可證件為準)一般項目:新材料技術(shù)研發(fā);新材料技術(shù)推廣服務;技術(shù)服務、技術(shù)開發(fā)、技術(shù)咨詢、技術(shù)交流、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)推廣;工業(yè)設計服務;3D打印服務;3D打印基礎(chǔ)材料銷售;增材制造;石墨及碳素制品制造;石墨及碳素制品銷售;合成材料制造(不含危險化學品);高性能纖維及復合材料制造;高性能纖維及復合材料銷售;金屬材料制造;非金屬礦物制品制造;非金屬礦及制品銷售;金屬基復合材料和陶瓷基復合材料銷售;鍛件及粉末冶金制品制造;鍛件及粉末冶金制品銷售;金屬表面處理及熱處理加工;機械電氣設備制造;機械設備研發(fā);機械設備銷售;機械設備租賃;專用設備制造(不含許可類專業(yè)設備制造);冶金專用設備制造;冶金專用設備銷售;環(huán)境保護專用設備制造;環(huán)境保護專用設備銷售;泵及真空設備制造;泵及真空設備銷售;智能基礎(chǔ)制造裝備制造;智能基礎(chǔ)制造裝備銷售;烘爐、熔爐及電爐制造;烘爐、熔爐及電爐銷售;增材制造裝備制造;增材制造裝備銷售;非居住房地產(chǎn)租賃;貨物進出口;技術(shù)進出口;第二類醫(yī)療器械銷售(除依法須經(jīng)批準的項目外,憑營業(yè)執(zhí)照依法自主開展經(jīng)營活動)。
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