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近日，江蘇省發(fā)展和改革委員會發(fā)布《2023年江蘇省重大項目清單》，“蘇州中科科儀半導體核心裝備領(lǐng)域?qū)Ｓ么艖腋》肿颖谩表椖砍晒θ脒x江蘇省2023年重大項目名單。

 磁懸浮分子泵產(chǎn)品是集成電路制造裝備的關(guān)鍵核心零部件，為刻蝕、離子注入、薄膜沉積等半導體制造關(guān)鍵工藝過程提供所需的高潔凈度超高真空環(huán)境。由于半導體產(chǎn)業(yè)鏈價值較高，對其生產(chǎn)工藝中的各項裝備可靠性要求極其嚴苛。磁懸浮分子泵作為關(guān)鍵核心零部件，不僅需滿足半導體制造裝備的各項工藝技術(shù)指標，還需要滿足其苛刻的安全性、可靠性要求。

作為半導體裝備核心零部件供應商，北京中科科儀股份有限公司憑借在真空行業(yè)的領(lǐng)軍地位和四十多年的技術(shù)積淀，成功研制了中國第一臺具有自主知識產(chǎn)權(quán)的磁懸浮分子泵，主導制定了中國磁懸浮分子泵行業(yè)標準，陸續(xù)推出系列磁懸浮分子泵產(chǎn)品，在工業(yè)領(lǐng)域取得了廣泛應用。同時，中科科儀聚焦半導體行業(yè)需求，持續(xù)研發(fā)推出定制化磁懸浮分子泵產(chǎn)品，助力解決集成電路裝備核心零部件“卡脖子”問題。

為貫徹中國科學院“率先行動”計劃，落實國科控股“聯(lián)動創(chuàng)新”綱要，2019年中科科儀在蘇州市高新區(qū)成立全資子公司蘇州中科科儀技術(shù)發(fā)展有限公司。三年的時間里，蘇州科儀面向經(jīng)濟主戰(zhàn)場和國家重大需求，以“規(guī)模產(chǎn)業(yè)化”為核心，“創(chuàng)新驅(qū)動、需求牽引、自主可控”為關(guān)鍵，深入實施科技強國戰(zhàn)略，對標半導體行業(yè)核心零部件制造標準，持續(xù)完善生產(chǎn)過程控制體系，對接長三角一體化發(fā)展規(guī)劃，聚焦半導體關(guān)鍵裝備核心零部件規(guī)模產(chǎn)業(yè)化，著力提升科技成果轉(zhuǎn)化能力，在實現(xiàn)半導體制造領(lǐng)域國產(chǎn)化替代方面發(fā)揮重要作用。

惟其艱巨，所以偉大；惟其艱巨，更顯榮光。面臨當前全球新一輪科技革命和產(chǎn)業(yè)變革的歷史機遇，蘇州科儀將繼續(xù)聚焦解決國家高端科學儀器裝備與核心零部件關(guān)鍵領(lǐng)域“卡脖子”問題，發(fā)揮強鏈補鏈關(guān)鍵作用，全力推動科技成果轉(zhuǎn)化與規(guī)模產(chǎn)業(yè)化，為強化國家戰(zhàn)略科技力量、實現(xiàn)高水平科技自立自強貢獻力量。