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北京中科科儀股份有限公司
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北京中科科儀股份有限公司
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SBC-16 是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng)，特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜。
主要特性
通過(guò)高效低壓直流磁控頭進(jìn)行冷態(tài)精細(xì)的噴鍍過(guò)程，避免樣品表面受損。
操作容易快捷， 控制的參數(shù)包括放氣以及氬氣換氣控制。
數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氣壓影響，可得到一致的鍍膜速率和**的鍍膜效果。
可使用多種金屬靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au 靶為標(biāo)配）， 靶材更換快速方便。
技術(shù)參數(shù)
濺射系統(tǒng) | |
靶材 | Au 靶為標(biāo)配，可選 Pt，直徑 57mm x 0.1mm 厚 |
標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái) | 可以裝載 12 個(gè) SEM 樣品座，高度可調(diào)范圍為 60mm |
旋轉(zhuǎn)傾斜樣品臺(tái)（選配） | 旋轉(zhuǎn)速度： 0~60rpm 連續(xù)可調(diào)，傾斜角度： -90 °~ 90°連續(xù)可調(diào)； 不銹鋼腔體：直徑 120mm X 高 75mm； 觀察窗：直徑 120mm X 高 45mm； 標(biāo)配旋轉(zhuǎn)臺(tái)直徑 40mm，可放 4 個(gè)標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái)， 其它規(guī)格可訂做； 具有雙重鎖緊裝置， 可確保樣品在旋轉(zhuǎn)傾斜時(shí)不會(huì)松動(dòng)脫落。 |
濺射電流 | 微處理器控制， 安全互鎖，可調(diào)，電流 5~30mA，程序化數(shù)字控制 |
計(jì)量表 | 真空： Atm - 1*10-3 mbar，電流： 0~99mA |
控制方法 | 帶有 “開(kāi)始”“暫?！卑粹o的微處理控制器（1－999s），自動(dòng)抽氣、濺 射、關(guān)機(jī)后自動(dòng)放氣。 |
真空系統(tǒng) | |
抽氣速率 | 133L/MIN |
極限真空 | 10-4 mbar 級(jí) |
噪音 | 56dB |
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