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6月29日至7月1日，國際半導體展（SEMICON China 2023）在上海新國際博覽中心隆重舉辦。SEMICON China是全球規(guī)模最大、最具影響力的半導體行業(yè)盛會，囊括了全球主要的半導體設(shè)備及材料廠商。中科科儀作為中國尖端科學儀器和真空技術(shù)的引領(lǐng)者，在此次展會中展示了領(lǐng)先的電子光學與真空技術(shù)、半導體檢測設(shè)備與核心零部件產(chǎn)品及解決方案。

在半導體產(chǎn)業(yè)中，檢測設(shè)備及核心零部件扮演著至關(guān)重要的角色，是實現(xiàn)半導體器件高精度制造和高可靠性的關(guān)鍵組成部分。中科科儀作為國內(nèi)一家在掃描電子顯微鏡領(lǐng)域持續(xù)耕耘50余年的企業(yè)，成功研制多款掃描電子顯微鏡并于近年來研制出國內(nèi)首臺場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡，打破國外技術(shù)壟斷，解決了我國半導體等高端裝備制造領(lǐng)域檢測設(shè)備依賴進口的“卡脖子”問題，在晶圓檢測、線寬測量、半導體器件失效分析等方面有著廣泛應(yīng)用。

真空環(huán)境是半導體生產(chǎn)過程的基本條件，半導體前道工藝中的刻蝕、離子注入、薄膜沉積等都需要在真空環(huán)境中進行，真空獲得產(chǎn)品是半導體裝備的核心零部件。磁懸浮分子泵是技術(shù)水平最高的超高真空獲得產(chǎn)品，中科科儀研制了國內(nèi)第一臺磁懸浮分子泵并形成了系列化產(chǎn)品，其中半導體系列磁懸浮分子泵已通過多個頭部半導體裝備廠家的長期嚴苛工藝驗證，實現(xiàn)了批量銷售。目前，中科科儀在半導體領(lǐng)域積累了多年的產(chǎn)品應(yīng)用經(jīng)驗，對半導體工藝要求有了深入的理解，可根據(jù)客戶需求進行定制化設(shè)計和生產(chǎn)，滿足進口產(chǎn)品國產(chǎn)化替代和國內(nèi)半導體裝備的使用要求。

半導體產(chǎn)業(yè)是一個關(guān)鍵戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)，其技術(shù)水平和發(fā)展規(guī)模已成為衡量一個國家產(chǎn)業(yè)競爭力和綜合國力的重要標志之一。未來，中科科儀將持續(xù)加大研發(fā)投入，深耕電子光學及真空技術(shù)，為客戶提供專業(yè)可靠的產(chǎn)品及服務(wù)，與產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)一道共同推動和見證中國半導體產(chǎn)業(yè)的崛起！

展會還在繼續(xù)，歡迎您蒞臨SEMICON China 2023 中科科儀展位（E7館 E7146），與我們交流探討半導體檢測設(shè)備及核心零部件國產(chǎn)化解決方案，期待與您相約上海新國際博覽中心！

關(guān)于中科科儀

北京中科科儀股份有限公司（簡稱中科科儀），前身為中國科學院科學儀器廠，始建于1958年，是中國科學院首家事業(yè)單位整體轉(zhuǎn)改制企業(yè)。中科科儀是中國尖端科學儀器裝備及真空技術(shù)領(lǐng)軍企業(yè)，業(yè)務(wù)領(lǐng)域覆蓋掃描電子顯微鏡、氦質(zhì)譜檢漏儀等科學儀器裝備和分子泵、真空應(yīng)用設(shè)備等核心零部件及產(chǎn)業(yè)設(shè)備。70年代，研制出我國第一臺掃描電子顯微鏡、第一臺渦輪分子泵和第一臺商用氦質(zhì)譜檢漏儀。近年來，成功研制出國內(nèi)首臺場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡、首臺磁懸浮分子泵，均達到國際先進水平。2008年被評為國家級高新技術(shù)企業(yè)，2014年被評為國家級企業(yè)技術(shù)中心，2021年獲評國家級“專精特新”小巨人企業(yè)稱號，2022年獲評國家級制造業(yè)“單項冠軍”示范企業(yè)稱號。是中國通用機械工業(yè)協(xié)會副會長單位，中國真空學會副理事長單位，集成電路零部件產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟副理事長單位，北京真空學會理事長單位。

資料來源：企業(yè)公眾號