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賽默飛（原FEI）Prisma E SEM-環(huán)境掃描鎢燈絲電鏡

Prisma E SEM是一款高度靈活的掃描電子顯微鏡(SEM)，在各種條件下都能有出色的全能性能?；谄涞驼婵蘸铜h(huán)境掃描的SEM (ESEM)模式，它完全具備分析不導(dǎo)電，含氣體、水分或其它非常規(guī)測(cè)試的樣品。

發(fā)射源：鎢燈絲（高性能電子光學(xué)鏡筒，雙陽(yáng)極熱發(fā)射電子槍）

分辨率：
高真空成像 3.0nm@ 30kV（SE）；8.0 nm@ 3kV（SE）
低真空成像 3.0nm@ 30kV（SE）；4.0 nm@ 3kV（BSE）；10nm@ 3kV（SE）
環(huán)境掃描模式成像 3.0nm@ 30kV（SE）
放大倍數(shù)：5 ~ 1,000,000×（寶麗來(lái)相紙放大）

加速電壓范圍：200V ~ 30kV 

探針電流范圍：**可達(dá)到2μA，連續(xù)可調(diào)；

低真空范圍：高達(dá)130Pa；

ESEM真空范圍：高達(dá)2600Pa（H2O）/4000Pa（N2）；

X-Ray工作距離：10mm，EDS檢出角35°

樣品室：從左至右為340mm寬的大存儲(chǔ)空間，樣品室可拓展接口數(shù)量12個(gè)，含能譜儀接口3個(gè)（其中2個(gè)處于180°對(duì)角位置）

樣品臺(tái)：五軸優(yōu)中心全自動(dòng)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
X=110 mm,Y=110 mm,Z=65 mm,T=-15o~90o,R=360o （連續(xù)旋轉(zhuǎn)）
多用途SEM樣品安裝載物臺(tái)，可同時(shí)放置 18 個(gè)標(biāo)準(zhǔn)樣品座（φ12mm）
**樣品高度不低于200mm
**樣品承重 5 kg

探測(cè)器系統(tǒng)：
高真空二次電子探測(cè)器ETD
樣品室內(nèi)IR紅外相機(jī)CCD
低真空二次電子探測(cè)器LVD
氣體二次電子探測(cè)器GSED（環(huán)境真空）

控制系統(tǒng)：
操作系統(tǒng)：Windows 10
圖像顯示：24寸LCD顯示器，**顯示分辨率1920×1200
支持用戶自定義的GUI，可同時(shí)實(shí)時(shí)顯示四幅圖像
軟件支持Undo和Redo功能

特點(diǎn)與用途

☆ 方便快捷地加載多種樣品和重樣品；

☆ 基于Thermo ScientificTM Nav-CamTM相機(jī)和蒙太奇導(dǎo)航功能簡(jiǎn)化樣品導(dǎo)航；
☆ 便捷性的用戶指南和撤消功能；
☆ 先進(jìn)的掃描模式和電子束減速確保**的圖像質(zhì)量；
☆ Thermo ScientificTM ColorSEMTM技術(shù)下進(jìn)行直觀的元素分析；
☆ 專用真空模式，具備強(qiáng)大的樣品兼容性；
☆ 獨(dú)特的環(huán)境掃描模式能夠在材料的自然狀態(tài)下成像；
☆ 可集成冷/熱臺(tái)進(jìn)行易于控制的動(dòng)態(tài)實(shí)驗(yàn)；
☆ 廣泛選擇的探測(cè)器和附件，包括掃描透射電 (STEM)、陰極發(fā)光、圖像拼接等