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上海全碩電爐有限公司
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本設(shè)備是由石英坩堝（或氧化鋁陶瓷坩堝）和不銹鋼法蘭組成的真空坩堝爐。主要用于煅燒真空或惰性氣體保護下的高純度化合物或擴散半導(dǎo)體晶片，也可用于烘燒或燒結(jié)陶瓷材料。
二、真空井式坩堝爐參數(shù)說明
型號 | QSH-VCF-1200T | QSH-VCF-1400T | QSH-VCF-1700T |
工作溫度 | ＞1200℃ | ＞1400℃ | ＞1700℃ |
加熱元件 | 電阻絲 | 硅碳棒 | 硅鉬棒 |
熱電偶 | K型 | S型 | B型 |
控溫方式 | 51段可編程自動控制，PID調(diào)節(jié)控溫精度 | ||
升溫速率 | 0-10℃ | 0-20℃ | |
控溫精度 | ±1℃ | ||
真空度 | -0.1MPa | ||
爐膛材料 | 氧化鋁陶瓷纖維板 | ||
爐殼 | 雙層爐殼，風冷結(jié)構(gòu)（爐底安裝兩個散熱風扇），爐殼表面溫度低于60度 | ||
額定功率 | 1KW—8KW | ||
常用爐膛尺寸 | Φ240xH220mm；Φ40xH300mm；Φ60xH300mm；Φ80xH300mm；Φ100xH300mm；Φ120xH300mm | ||
三、溫控程序曲線示意圖（六段為例）：
四、溫控程序?qū)?yīng)符號及其意義：
提示符 | 輸入數(shù)據(jù) | 意義 |
C 01 | 0 | 起始溫度值 |
t 01 | 60 | 從0~300℃的升值時間為60分鐘 |
C 02 | 300 | 個目標溫度值 |
t 02 | 10 | 300℃保溫時間10分鐘 |
C 03 | 300 | 第二個目標溫度值 |
t 03 | 240 | 從300~1500℃的升值時間為240分鐘 |
C 04 | 1500 | 第三個目標溫度值 |
t 04 | 30 | 1500℃恒溫時間10分鐘 |
C 05 | 1500 | 第四個目標溫度值 |
t 05 | 260 | 從1500~200℃的升值時間為260分鐘 |
C 06 | 200 | 第五個目標溫度值 |
t 06 | －121 | 程序運行結(jié)束，自然降溫 |
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