上海全碩電爐有限公司
已認(rèn)證
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氮化硅粉體合成爐
一、產(chǎn)品介紹
1、氮化硅粉體合成爐是應(yīng)用于氮化法合成氮化硅粉的專用真空爐。
2、2024年,由我司制造的兩臺(tái)氮化硅粉體合成爐,目前正在江西某新材料公司,生產(chǎn)的氮化硅粉純度≥99.99%,達(dá)到光伏級(jí)氮化硅粉體的級(jí)別。
3、產(chǎn)品展示圖
4、氮化硅樣品展示圖:
二、產(chǎn)品結(jié)構(gòu)
電爐結(jié)構(gòu)介紹 | |
爐 體 結(jié) 構(gòu) | 1、爐蓋是由內(nèi)外封頭及法蘭組成,其外層及采用碳鋼材料制作而成,內(nèi)層及法蘭采用不銹鋼,內(nèi)封頭為 10mm 不銹鋼,外封頭為 10mm 不銹鋼,法蘭為 40mm 不銹鋼,內(nèi)外封頭與法蘭焊接成一個(gè)整體,兩層支間形成夾套可以通水冷卻,爐蓋開關(guān)及鎖緊采用手動(dòng)方式。
2、發(fā)熱元件采用硅鉬棒(硅鉬棒為標(biāo)準(zhǔn)件,硅鉬棒冷端為 ?12mm),將硅鉬棒(48 根)分成三區(qū),每區(qū) 12 根連接成三相,由特質(zhì)的引出電極從爐體引出,并由電爐控制 系統(tǒng)三相供電經(jīng)過(guò)變壓器降壓后用銅排或電纜連結(jié)到引出電極,形成一個(gè)控制回路。
3、保溫層由多晶體莫來(lái)石材料及不銹鋼框架經(jīng)過(guò)加工制作成一個(gè)整體的隔熱系統(tǒng),能方便安裝及維修.
4、氮化硅合成爐內(nèi)設(shè)有保溫層支撐座,將保溫桶放在設(shè)計(jì)好的支撐座上,保溫層使用不銹鋼外框及保溫材料做成,保溫材料為多晶體莫萊石。
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真 空 系 統(tǒng) | 真空系統(tǒng)由機(jī)械泵+羅茨泵,氣動(dòng)高真空蝶閥,帶充氣壓差閥及不銹 鋼管道組成,真空測(cè)量?jī)x選用電阻式數(shù)顯真空測(cè)量?jī)x。
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電 氣 系 統(tǒng) | (1)供電是采用低壓變壓器及可控硅功率控制器,380V 三相電源經(jīng)過(guò)降壓變壓器,電壓降后經(jīng)過(guò)連接銅牌或電纜送到引出電極上。本系統(tǒng)具有軟啟動(dòng)、軟切斷、恒流、過(guò)流保護(hù)等功能。 (2) 整臺(tái)電爐的電氣控制采用昆侖通觸摸屏,并配有 12 寸觸摸屏,并通過(guò)觸摸屏按照工藝要求設(shè)置及保存。也可將輸出信號(hào)接入用戶的 DCS 系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)全過(guò)程監(jiān)控;本系統(tǒng)具有軟啟動(dòng)、軟切斷、恒流、過(guò)流保護(hù)等功能:熱電偶采用鎢錸熱電偶。 (3)整臺(tái)電爐在工作狀態(tài)下具有,水欠壓(及欠流)、超溫、過(guò)流自動(dòng)連鎖及報(bào)警、保護(hù)切斷主電源功能,報(bào)警狀態(tài)為聲、光指示方式 。 (4)氣體控制方式 氣體經(jīng)減壓閥降壓后,由電磁閥及氣體流量計(jì)按比例進(jìn)入氣體混合桶,混合氣體分二路進(jìn)入爐膛,在升溫過(guò)程中,氣體會(huì)隨溫度的升高而膨脹超壓,超壓部分再由壓變及電磁閥自動(dòng)將多余氣體從爐體底部排出爐體。(控制回路,回路為單回路)
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水 冷 系 統(tǒng) | 冷卻水由總管進(jìn)入,經(jīng)過(guò)各支路送至爐體.爐蓋及需要冷卻的地方,然后匯總到回水管進(jìn)入水箱或冷卻塔,每路冷卻水都配有手動(dòng)銅球閥,可以按需要調(diào)節(jié)流量大小;總進(jìn)水管上裝有電接點(diǎn)壓力表,當(dāng)水壓低于設(shè)定壓力時(shí),控制系統(tǒng)會(huì)聲.光報(bào)警.并自動(dòng)切斷主電源,冷水機(jī)由客戶自備。
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