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一、設備用途：
     本設備按照每組爐管內(nèi)產(chǎn)品的工藝要求，設定適合的溫區(qū)曲線，3溫區(qū)同步工作，完成產(chǎn)品的真空或氮氣、氬氣保護氣氛退火。
二、設備技術參數(shù)：
1.**溫度：700℃。
2.工作溫度：350—600℃；
3.爐管內(nèi)尺寸：Φ156×1100（內(nèi)徑×長度)mm。
4.加熱方式：電加熱模塊爐管外加熱。
5.溫區(qū)數(shù)：共設置18個獨立控溫區(qū)，每個爐管3個獨立溫區(qū)。
6.控溫精度：±1℃；
7.控溫方式：單相固態(tài)繼電器SSR控制；
8.爐體外形（不含控制柜）約為：1400×1400×2400（L×W×H)mm；
9.裝機功率：45 kW；
10.極限真空度：0.5mBar。
三、設備組成結構：
      設備主要由爐體、爐管、真空系統(tǒng)、氣路、溫控系統(tǒng)、電