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氧化亞硅半連續(xù)氣相沉積爐

設(shè)備名稱∶氧化亞硅半連續(xù)氣相沉積爐

應(yīng)用領(lǐng)域∶氧化亞硅半連續(xù)量產(chǎn)

工藝描述∶高真空脫氧，氣相沉積，自動(dòng)研磨刮

料、爐外收集?？膳銩GV智能物流車

技術(shù)參數(shù)：

1．型號(hào)：MGB150-130VH

2. 技術(shù)參數(shù)：裝料罐尺寸Φ1500　X　1300，裝料量２．５T，工作溫度１３５０℃，極限溫度1６00℃，真空度0.５-2.5Pa，氣氛類別：Ar/N2，總功率500KW，工序時(shí)長(zhǎng)２４H/爐。

3. 產(chǎn)品特點(diǎn)：適用于動(dòng)力電池負(fù)極材料（氧化亞硅等可氣相沉積材料）大批量生產(chǎn)；溫差控制精度高，高溫高真空；具備高真空脫氧，脫脂、脫水、混煉反應(yīng)、氣相沉積材料自動(dòng)研磨刮料、爐外收集等特殊工藝能力。完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)設(shè)計(jì)制造，一次裝料量大，生產(chǎn)效率極高，全程全封閉全自動(dòng)化作業(yè)（可配AGV智能物流車），生產(chǎn)能耗相比普通單體爐降低約50%，性能穩(wěn)定，主要元器件皆為進(jìn)口大品牌。保修期一年，售后服務(wù)高效、專業(yè)。