單晶爐與多晶爐用干式螺桿真空泵的特點

·無油氣污染真空系統(tǒng)，可獲得清潔真空

·配置單晶硅與多晶爐專用過濾器，減少硅粉吸入真空泵

·被抽氣體不會被污染，尾氣可進(jìn)行回收利用

·無油氣和油煙等有害氣體的排放，環(huán)境污染小

·避免了因泵腔內(nèi)潤滑油乳化、變質(zhì)而出現(xiàn)的運行故障，提高了系統(tǒng)的穩(wěn)定性，同時減少了泵潤滑油的損耗

·泵可單獨使用，或者與羅茨泵、分子泵等組合成無油真空機組，作為機組的前級泵使用。單泵進(jìn)氣壓力在 1Pa 至大氣

 壓均能正常工作，抽氣效率高，可大大簡化抽真空系統(tǒng)

·泵腔內(nèi)各相對運動零件之間采用間隙密封，零件間無接觸摩擦存在，零件損耗小，使用壽命長

·泵腔內(nèi)采用間隙密封，對少量小顆粒粉塵不敏感

·整機體積小，減少占地面積

·消耗功率更低，節(jié)能效果好

·運行噪聲低

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