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CVD管式爐，氣相沉積管式爐

本款CVD管式爐工作溫度為300℃至1600℃，配備真空泵，氣體混合裝置。我們的CVD管式爐采用了先進的溫度控制系統(tǒng)，高溫精度，出色的氣體流量精度，易于操作，出色的隔熱效果和溫度均勻性。 主要用于大學(xué)，研究中心和生產(chǎn)企業(yè)進行氣相沉積相關(guān)的實驗與生產(chǎn)。

高溫真空管式爐特點

• **溫度：
  1200℃（HRE電阻絲加熱）
  1400℃ （硅碳棒加熱）
  1600℃ （硅鉬棒加熱）

• 智能化51段可編程自動控制

• 雙層風(fēng)冷結(jié)構(gòu)；爐殼表面溫度低于50℃

• 304不銹鋼雙層密封法蘭

• 兩端可調(diào)節(jié)法蘭支撐結(jié)構(gòu)，延長爐管使用壽命

• 超溫保護功能，當(dāng)溫度超過允許設(shè)定值自動斷電

• 安全保護當(dāng)爐體漏電時自動斷電

• 升溫速率≦20 ℃ /分

• 控溫精度±1 ℃

• **真空度-0.08MPa

• 配置分子泵機組，真空度可達7×10^(-3)Pa

CVD管式爐配套設(shè)備

多路氣體控制柜

質(zhì)量流量計配氣柜

真空管式爐技術(shù)規(guī)格

Ⅰ. 技術(shù)參數(shù)
**工作溫度	1600℃ (<2小時)
溫度儀表	● 人工智能PID儀表，自動控制溫度。雙向反并聯(lián)可控硅調(diào)壓，對電爐溫度進行精準控制，并具有限流功能。防止供電電壓不穩(wěn)，電流突然過大引起跳閘，燒損電氣元件等。 （我公司采用的可控硅為國際優(yōu)秀品牌：西門康） ● 51段編程曲線，根據(jù)預(yù)置程序自動升溫、保溫、降溫。一鍵完成，無需工人值守。 ● 內(nèi)置控溫參數(shù)自整定功能。. ● 具有超溫報警，熱電偶斷裂報警，并自動切斷供電電源，提供可靠保護。
控溫精度	±1℃
加熱速率	0-20℃/分鐘
熱電偶	B型(雙鉑銠) ，熱電偶保護管為純度 99.7%的剛玉管
加熱元件	高純硅鉬棒
普通真空	-0.08MPa
高真空	7×10^(-3)Pa （分子泵）
配套設(shè)配	氣體混合控制柜，質(zhì)子流量計，浮子流量計
爐膛	三層全纖維爐襯，構(gòu)成整個爐膛 ● **層: 1800型多晶氧化鋁陶瓷纖維。保證爐膛足夠的強度，又確保具有極好的隔熱效果。 ● 第二層: 1430型多晶氧化鋁陶瓷纖維。 ● 第三層: 保溫棉若干。
爐殼結(jié)構(gòu)	● 高強度碳鋼制作而成，酸洗磷化除銹后，靜電噴塑，美觀大方。 ● 雙層風(fēng)冷爐殼，內(nèi)置2-4個散熱風(fēng)機，確保爐殼表面溫度低于60℃.
產(chǎn)品保修	1. 自驗收之日起，高溫箱式爐整機免費保修一年。如果設(shè)備出現(xiàn)問題，現(xiàn)場進行維修，終身提供技術(shù)支持！ 2. 超出保修期后，成本價提供配件。

1200℃ CVD管式爐標準尺寸

1400℃ CVD管式爐標準尺寸

1600℃ CVD管式爐標準尺寸